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歐姆龍
液位傳感器
EE-SPX613

帶輸出動作切換功能及靈敏度切換功能，使用更方便的液位傳感器。 輸出動作切換功能能讓模式設(shè)置隨心所欲。 靈敏度切換功能適用于φ6～13mm、厚度1mm的透明、半透明導(dǎo)管。
歐姆龍
晶圓片托架落座傳感器
EE-SPY801

晶圓片托架的落座檢測。 通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。 與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂。
歐姆龍
晶圓片托架落座傳感器
EE-SPY802

晶圓片托架的落座檢測。 通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。 與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂。
歐姆龍
按鈕型光電傳感器
EE-SA701系列/EE-SA801系列
共有 6 個型號

通過按鈕型檢測方式的采用，能準(zhǔn)確檢測以往難以檢測的物體。 符合半導(dǎo)體FOUP盒規(guī)格，不受地面材質(zhì)、顏色、反射率的 影響， 準(zhǔn)確檢測FOUP盒的落座情況。 薄型設(shè)計可實現(xiàn)搬運臂上的搭載。
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